真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，超级净化手套箱定制，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，真空手套箱定制，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱的维护和保养
1.手套箱每日维护保养：
? 检查手套有无损坏以及是否安装牢固，手套孔是否有松动。如果手套有破损或漏气现象请及时更换，如果手套或手套孔有松动或安装不牢固，请重新安装牢固。
? 检查手套箱系统的外观和箱体内部是否有杂物或积液，不清洁的手套箱能导致系统堵塞造成系统工作效率降低或损坏。
? 检查手套箱系统的各个装置、密封件、气体接口和管道，要保证密封良好、连接牢固无泄漏。
2.手套箱每周维护保养：? 检查真空泵，在需要时更换真空泵油，这可以保证真空泵的工作性能并有效延长使用寿命。
3.手套箱每月维护保养：? 更换真空泵油(如果真空泵油已经不干净)。
? 检查过渡舱密封胶圈，如果损坏请更换。
? 更换过滤器、溶剂吸附器和附加有机1溶剂吸附系统的材料。
? 给净化系统补充冷却水。
? 开启“手动检测”，检测是否有部件不工作或不正常运行。
4.手套箱每年维护保养：? 检查气体净化系统是否能正常的净化气体(如果气体净化系统已经不能正常净化气体或者不能保持低含量的水、氧值)请更换气体净化系统的净化柱；
? 更换真空泵油；
? 检查水、氧、压力传感器是否失效或有误差；
? 检查手套箱系统安全性能。
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手套箱操作步骤
抽真空与充气的放法：
1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空，过渡室则可以单独抽真空。
2、先打开过渡室里面的门，然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。
3、打开手套口之间的三通阀（逆时针旋转），将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体，使得抽气时手套内外（箱体和接口）同时抽真空，保持两边气压平衡。
4、将真空泵接到过渡室一个阀门上，开启真空泵，缓缓打开此阀门，对系统抽气（如打开阀门的速度太快，可能引起手套膨胀）。
5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时，抽真空完成，此时应先关阀门再关真空泵。
6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体，直至气压比大气压（气压表指数为0MPa）略高一点，使箱体内、外的压力基本平衡，且内部略高于外部，手套箱定制，可保证大气不会渗入箱体内部（如果您想使箱体内的气体更纯净，将以上抽气和充气过程重复几次）。关掉连接手套接口的三通阀，打开手套接口上的压盖，就可以进行操作了。
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